فلوئوروکلروهیدروکربنها Fluoro chloro hydrocarbons، در تهویه هوا و در سرد سازی کاربرد وسیعی دارند. استفاده از فلوئوروکلروکربنها Chloro fluoro carbons در این موارد ممنوع شده است، چون آنها مشکوک به بزرگ کردن سوراخ اوزون می‌باشند. هگزافلورایدگوگرد Sulfur hexafluoride، گازی بسیار راکد و غیر سمی است. این گروه از ترکیبات گازهای گلخانه‌ای قوی هستند.